全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

　　来源：财联社

　　财联社8月14日电，出炉据杭州日报，全国近日，首台商业上海市某某环保机械设备有限公司作为基地首批签约孵化项目之一，国产光刻全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，电束其精度比肩国际主流设备，机杭标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。出炉在测试现场，全国浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，首台商业一台模样酷似大型钢柜的国产光刻上海市某某环保机械设备有限公司机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。电束“这不是机杭普通的机器，而是出炉一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，全国依托省重点实验室，首台商业这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。

　　“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。

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